Stichting FOM

19 juli 2010, 2010/25

FOM Valorisatie Prijs 2010 voor Fred Bijkerk

De Stichting FOM heeft de FOM Valorisatie Prijs 2010 vandaag toegekend aan prof.dr. Fred Bijkerk van het FOM-Instituut voor Plasmafysica Rijnhuizen en het MESA+Instituut voor Nanotechnologie aan de Universiteit Twente. Hij ontvangt deze prijs ter waarde van 250.000 euro voor zijn werk op het gebied van multilaag optiek voor licht met korte golflengte, zoals bijvoorbeeld Extreem Ultraviolet (EUV) licht. De prijs zal, tegelijk met de andere wetenschappelijke FOM-prijzen, uitgereikt worden op 18 januari 2011, tijdens het jaarlijkse congres Physics@FOM Veldhoven. De prijs dient als inspirerend voorbeeld voor andere onderzoekers om kennisbenutting uit fysisch onderzoek te stimuleren.

Volgens de selectiecommissie is Bijkerk in staat geweest om zijn wetenschappelijke onderzoeksresultaten direct in te zetten voor de ontwikkeling en productie van multilaag-spiegels voor enkele industriële toepassingen. "Bijkerk heeft daarbij al zijn capaciteiten ingezet. Gedreven door zijn inspanning om fundamentele kennis te vergroten is valorisatie ontstaan: zowel fysisch/chemische als technologische kennis werd tegelijkertijd toegepast en ontwikkeld. Daarnaast staat Bijkerk bekend om de ondernemende wijze waarop hij zich inspant om relevante kennis te ontwikkelen voor industriële partners. Hierbij verliest hij de fundamen­tele aspecten van het onderzoek niet uit het oog. Bijkerk heeft alle stappen gezet vanaf het fundamentele fysische onderzoek, via het experi­mentele bewijs van de fysische mogelijkheden tot en met de toepassing in diverse industriële prototypen," zo concludeerde de selectiecommissie onder leiding van Joop Sistermans (voorzitter van de Adviesraad voor het Wetenschaps- en Technologiebeleid), die FOM daarom adviseerde Bijkerk deze tweede editie van de FOM Valorisatie Prijs toe te kennen.

Fred Bijkerk (55) is hoofd van de nanolayer Surface and Interface Physics afdeling van Rijnhuizen en tevens hoogleraar aan de Universiteit Twente. Naast vele wetenschappelijke en technische publicaties hebben Bijkerk en zijn afdeling dertig octrooien ontwikkeld op het gebied van multilaag-spiegels, EUV stralingsbronnen en -detectiesystemen, met inbegrip van fabricagemethoden, en gebruikstoepassingen in de fotolithografie en fluorescentieanalyse. Daarnaast heeft het werk geresulteerd in twaalf academische promoties, onder andere die van Tim Tsarfati. Tsarfati ontving voor zijn hoofdstuk over de benutting van de resultaten van zijn promotieonderzoek in 2009 de eerste FOM Valorisatiehoofdstuk Prijs en werkt nu bij Rijnhuizen als valorisatiemanager.

Over het onderzoek
De ontwikkeling van nieuwe technologieën voor het maken van volgende generaties halfgeleiderstructuren gaat stormachtig snel. Het aantal transistors per eenheid van oppervlak van een geïntegreerde schakeling moet blijven groeien om te voldoen aan de eisen van economisch rendement van de halfgeleiderfabricage. De resolutie van de lithografische projectietechnologie speelt daarbij een sleutelrol en deze vraagt om steeds kortere golflengten van het gebruikte licht. EUV lithografie is een veelbelovende technologie die nu wordt uitontwikkeld om in de toekomst te voorzien in fabricage van halfgeleiderstructuren van zo'n twintig nanometer en kleiner.

Fred Bijkerk is in staat geweest zijn wetenschappelijke resultaten direct inzetbaar te maken voor de ontwikkeling en productie van EUV spiegels voor industriële toepassing. Belangrijke bijdragen van Bijkerk en zijn medewerkers bestaan onder meer uit:


* het vestigen van wereldrecords voor EUV reflectiviteit en levensduur van multilaag-spiegels door het toepassen van de fysische en chemische kennis;
* het succesvol toepassen van speciale, contrastverhogende diffusiebarrières in de multilaag-spiegels waardoor de totale spiegelreflectie met 50% kon worden verhoogd;
* het maken van de eerste afbeeldingen in Europa met behulp van EUV licht en speciale spiegels daarvoor;
* het ontwikkelen van technieken om vervuiling van de multilaag-spiegels tegen te gaan;
* het ontwikkelen en introduceren van een universele optische metrologie-standaard die nu wereldwijd wordt gehanteerd door industrie en academia;
* het ontwikkelen van nieuwe optische elementen voor fluorescentieanalyse, een techniek om de samenstelling van materialen te analyseren. Al deze kennis is met succes overgedragen naar industriële partners in een bijzondere en intensieve samenwerking binnen publiek-privaat contractonderzoek.

Over de prijs
De FOM Valorisatie Prijs is ingesteld door de Stichting voor Fundamenteel Onderzoek der Materie om kennisbenutting van fysisch onderzoek te stimuleren. De prijs wordt jaarlijks uitgereikt aan een onderzoeker (of groep van onderzoekers) werkzaam in de fysica aan een Nederlandse onderzoeksinstelling die erin geslaagd is resultaten uit het eigen onderzoek tot nut voor de maatschappij te maken. De FOM Valorisatie Prijs is een eerbetoon. De prijs dient tevens als inspirerend voorbeeld voor andere onderzoekers zodat zij meer oog krijgen voor de benutting van de kennis die zij opdoen met hun onderzoek. De prijs past bij de doelstelling van FOM om een relevante bijdrage aan de Nederlandse kenniseconomie te leveren en bij te dragen aan het oplossen van wetenschappelijke vraagstukken bij bedrijven en de maatschappij in het algemeen. De winnaar krijgt een bedrag van 250.000 euro. Hiervan is 235.000 euro bedoeld als subsidie voor een nieuw onderzoek/valorisatieproject. De overige 15.000 euro is voor persoonlijk gebruik door de winnaar.