Technische Universiteit Delft
Promotie: Nanostructuren
door M&C
Promotie van dhr. A.P.J.M. Botman: "Towards high purity nanostructures from electron beam induced deposition of platinum"
21 december 2009 | 12:30 uur
plaats: Aula TU Delft
De heer A.P.J.M. Botman | Master of Natural Sciences, Groot Brittannië
promotor | Prof.dr.ir. P. Kruit TNW
coprom. | Dr. C.W. Hagen UHD-TNW
Towards high purity nanostructures from electron beam induced deposition of platinum
Gefocusseerde elektronenbundel-geïnduceerde depositie (EBID) is een nieuwe nanofabricage
techniek die snelle prototyping van driedimensionele nanodevices en de metaal bedrading
van nanostructuren mogelijk maakt, en is een veelbelovende techniek voor vele toepassingen
in nano-onderzoek. EBID is een proces waarin een voorlopermolekuul, dat het te
deponeren materiaal bevat, op een substraat wordt geadsorbeerd en onder de invloed van
een gefocusseerde elektronenbundel wordt ontleed. Na het ontleden gaat een deel van het
molekuul weg als vluchtig fragment terwijl de rest op het substraat achterblijft als het boogde
deposiet.
Tot nu toe was het geleidingsvermogen van EBID deposieten schlecht. Een aanzienlijke vooruitgang is geboekt, in de loop van het beschreven onderzoek, betreffende het verbeteren van het geleidingsvermogen van EBID platina nano- en microstructuren: platina deposieten van EBID hebben traditioneel een soortelijke weerstand van 10^7 micro-Ohm-cm; wij kunnen nu een soortelijke weerstand van 215 micro-Ohm-cm krijgen.
Meer informatie?
Voor inzage in proefschriften van de promovendi kunt kijken in de TU Delft Repository op: repository.tudelft.nl. TU Delft Repository is de digitale vindplaats van openbare publicaties van de TU Delft. Proefschriften zullen binnen een paar weken na de desbetreffende promotie in de Repository te vinden zijn.