Technische Universiteit Delft
Laminaire stromingen
door M&C
Promotie van dhr. S. van Veldhuizen: "Efficiente numeriekemethoden
voor de instationare oplossing van reagerende laminaire stromingen"
13 februari 2009 | 12:30 uur
plaats: Aula TU Delft
De heer Ir. S. van Veldhuizen | wiskundig ingenieur, Nederland
promotor 1 | Prof.dr.ir. C Vuik EWI
promotor 2 | Prof.dr.ir. C.R. Kleijn TNW
Efficiente numeriekemethoden voor de instationare oplossing van
reagerende laminaire stromingen
In fabricageprocessen van micro-electronica, optische en mechanische
coatings, en zonnecellen, zijn zuivere materialen in de vorm van een
poeder of dunne film onmisbaar. Dunne films van uniforme dikte op
onregelmatige oppervlakten kunnen worden gemaakt met chemical vapor
deposition (CVD). Voor het ontwerp als de optimalisatie van CVD
reactoren en processen zijn computer simulaties een belangrijk stuk
gereedschap. Het hart van een computer simulatie is een wiskundig
model van de gasstroming en alle chemische processen in een CVD
reactor.
Voor CVD computer simulaties is veel (commerciele) software
geschreven, waarbij de aandacht meestal uitging naar de modelering en
validatie. Voor de 'oude' CVD processen was deze benadering goed
genoeg. Echter, de te deponeren films worden dunner en dunner, zodat
de procesduur korter wordt, en transiente verschijnselen steeds
belangrijker worden. Ten tweede beweegt de technologie zich meer en
meer naar inherent transiente CVD processen (zoals atomic layer
deposition), zodat tijdsafhankelijke simulaties onmisbaar worden.
Het vinden van de tijdsafhankelijke oplossing van de onderliggende
wiskundige vergelijkingen is geen eenvoudige taak, omdat de chemie
term deze vergelijkingen moeilijk op te lossen maakt. Commerciele CFD
software pakketten hebben vaak problemen om deze oplossingen te
berekenen. Naast dat oplossingen berekend door verschillende codes
veel van elkaar verschillen, zijn vaak de rekentijden excessief groot.
Het onderwerp van deze dissertatie is het reduceren van de rekentijden
voor dit soort computersimulaties voor CVD en andere vergelijkbare
toepassingen. De ontwikkelde rekentechniek stelt ons in staat om
tijdsafhankelijke, multi-dimensionale simulaties van gasstromingen met
een multi-component, multi-reactie CVD chemiemodel door te rekenen in
een acceptabele rekentijd.
Meer informatie?
Voor inzage in proefschriften van de promovendi kunt kijken in de TU
Delft Repository op: repository.tudelft.nl. TU Delft Repository is de
digitale vindplaats van openbare publicaties van de TU Delft.
Proefschriften zullen binnen een paar weken na de desbetreffende
promotie in de Repository te vinden zijn.
Laatst gewijzigd: 29 januari 2009