Technische Universiteit Delft
Licht
door M&C
Promotie van mevr. A.M. Nugrowati: "Vectoral Diffraction of Extreme
Ultraviolet Light and Ultrashort Light Pulses"
17 juni 2008 | 12:30 uur
plaats: Aula TU Delft
Mevrouw A.M. Nugrowati | Magister Teknik, Indonesië
promotor | Prof.dr.ir. J.J.M. Braat (TNW)
toeg.prom | Dr. S. Pereira (UHD-TNW)
Vectoral Diffraction of Extreme Ultraviolet Light and Ultrashort Light
Pulses
In dit proefschrift hebben we enkele optische toepassingen gevonden
van de diffractietheorie van licht. We hebben een rigoureuze,
vectoriële diffractiemethode gebruikt (i) voor zowel het afbeelden van
maskerstructuren voor lithografie met extreem ultraviolet licht en
(ii) voor de voortplanting van ultrakorte pulsen door kleine
openingen. We beschrijven de geschiedenis van de methode, geven
daarnaast een volledige afleiding hoe deze te implementeren met enkele
instructieve voorbeelden. Deze methode geeft ons niet alleen het
gereedschap om de effecten te berekenen, maar helpt ons ook beter
inzicht te krijgen in de fysica achter de resultaten. Het is ons doel
om de mogelijkheden en uitdagingen van deze optische lithografische
techniek bij golflengten in het extreem ultraviolet (waarbij l = 13.5
nm) te bestuderen. Daarnaast hebben we de toepassing van een
fasemaskerconcept voor golflengten in het ultraviolet onderzocht om de
afbeelding te verkleinen door de resolutie in het beeldvlak van het
projectiesysteem te verhogen. We hebben enkele fasemaskers
geoptimaliseerd en geconcludeerd dat het fasemaskerconcept in
combinatie met een optimaal ontwerp noodzakelijk is voor toepassingen
in de extreem ultraviolette lithografietechniek. In de bespreking
betreffende onze tweede doelstelling, hebben wij aangetoond dat door
kleine spleetvormige openingen te belichten met de twee fundamentele
polarisatietoestanden (transversaal elektrisch en transversaal
magnetisch) tonen we aan dat deze spleten een polarisatieafhankelijk
dispersie-effect introduceren. Het interferentiepatroon dat ontstaat
door de diffractie aan twee spleten, zoals bij het
twee-spletenexperiment van Young, kan met het model correct voorspeld
worden. Het interferentiepatroon wordt beïnvloed door het
polarisatieafhankelijke golfgeleidereffect van de spleet, de
diffractie aan de spleten, en de opwekking van oppervlaktegebonden
golven op het metaaloppervlak die uitsluitend voorkomen bij een
transversaal magnetisch gepolariseerde, inkomende golf.
De aangetoonde hoge ruimtelijke en temporele informatiedichtheid kan
ingezet worden bij andere geavanceerde toepassingen in de optica,
waaronder microscopie, spectroscopie en femtochemie.
Meer informatie?
Voor inzage in proefschriften van de promovendi kunt kijken in de TU
Delft Repository op: repository.tudelft.nl. TU Delft Repository is de
digitale vindplaats van openbare publicaties van de TU Delft.
Proefschriften zullen binnen een paar weken na de desbetreffende
promotie in de Repository te vinden zijn.
Laatst gewijzigd: 28 mei 2008