Meer informatie: dienst Interne en Externe Communicatie, tel. 071-5273282
Persbericht Universiteit Leiden
6 september 2005
Acht ton voor onderzoek naar nieuwe computerchips
Dr Marcel Rost van het Leids Instituut voor Onderzoek in de
Natuurkunde (LION) van de Universiteit Leiden krijgt een
onderzoekssubsidie van bijna acht ton van de Technologiestichting STW.
Rost zal hiermee de komende jaren onderzoek doen aan fysische
verschijnselen bij de afzetting van dunne lagen. De resultaten zullen
naar verwachting van groot nut zijn voor machines die de nieuwe
generatie computerchips moeten gaan produceren.
Om die reden is een wereldwijd consortium dat zich richt op die
volgende generatie chipfabricage, nauw betrokken bij het fundamentele
onderzoek van Rost. In het consortium zitten o.a. Intel en ASML. Het
onderzoek wordt verricht in samenwerking met het FOM-instituut voor
Plasmafysica Rijnhuizen en het bedrijf Carl Zeiss AG (Duitsland) dat
ook financieel bijdraagt aan het project.
Het onderzoek geeft tot op de precisie van individuele atomen antwoord
op de vraag hoe dunne lagen groeien. Dat is van belang voor het
spiegelsysteem waarmee de nog kleinere structuren in de nieuwe
computerchips geschreven zullen worden. Door het grote aantal spiegels
in zon systeem zal een verbetering van slechts een paar procent in
reflectie de opbrengst van geproduceerde chips verdubbelen, en daarmee
de economische doorslag geven voor het commerciële succes van de
techniek.
Rost wil zich vooral richten op diffusie- en nucleatieverschijnselen
tijdens de afzetting van dunne lagen, en de invloed van deze
verschijnselen op de gladheid van de te groeien oppervlakken. Diffusie
is de manier waarop opgedampte atomen zich verspreiden over het
oppervlak. Nucleatie is de wijze waarop vanuit een enkel atoom of
enkele atomen een nieuwe laag begint te groeien. Diffusie- en
nucleatieverschijnselen zijn mechanismen die de wijze bepalen waarop
een dunne laag groeit.
Er ligt een grote uitdaging in de vertaalslag van de microscopische
processen naar productie op grote schaal en recepten waar de industrie
iets aan heeft. Die innovatieve slag is ook onderdeel van het project.
Afbeelding van een polykristallijne metaalfilm, gemaakt met een
scanning tunneling microscoop (STM). De afzonderlijke korrels en hun
atoomlagen zijn zichtbaar. Dit geeft een indruk van de enorme precisie
waarmee de spiegelsystemen bestudeerd zullen worden door de groep van
Marcel Rost.
Op de website van de onderzoeksgroep zijn microscopische filmpjes en
afbeeldingen te vinden van de groei van dunne lagen, zie:
http://www.physics.leidenuniv.nl/sections/cm/ip/projects/thermo/rost/w
elcome.htm