30 november 2004
Supernauwkeurige meter ziet nanofoutjes in spiegels
STW-promovendus Luke Krieg heeft een meetsysteem gemaakt dat
productiefoutjes met nanometerafmetingen in spiegels registreert. Zijn
systeem komt van pas in de productie van nieuwe generaties
computerchips, waarbij ultraviolet licht wordt gebruikt. Luke Krieg
promoveert op 30 november aan de Technische Universiteit Delft.
Computerchips worden in de toekomst waarschijnlijk gemaakt met extreem
ultraviolet licht. Lenzen kunnen dit licht met een golflengte van
dertien nanometer niet meer buigen, omdat ze het volledig absorberen.
In plaats daarvan moeten hele nauwkeurige holle en bolle spiegels de
belichting sturen. Vanwege de zeer kleine golflengte van het
ultraviolet licht mogen afwijkingen in de kromming van de spiegel niet
groter zijn dan een tiende nanometer. Om zeker te weten dat de
spiegels nauwkeurig genoeg zijn gemaakt, is heel gevoelige
meetapparatuur nodig. Eenvoudige en betaalbare meetapparatuur die deze
afwijkingen tijdens het productieproces kan meten, bestond nog niet.
Luke Krieg maakte daarom een absolute interferometer. De
interferometer gebruikt twee lichtbundels. De ene bundel valt
rechtstreeks op een sensor. De andere weerkaatst in de te meten
spiegel en komt dan in de sensor terecht. Uit het patroon dat beide
lichtbundels samen vormen, is de vorm van de spiegel af te leiden.
De promovendus wist met zijn opstelling de vorm van een spiegel op
vier nanometer nauwkeurig te bepalen. Uiteindelijk moet dit een tiende
nanometer worden. Met een aanpassing aan de sensor, waar nu in een
parallel project aan wordt gewerkt, moet deze resolutie haalbaar zijn.
De nieuwe interferometer heeft meerdere voordelen ten opzichte van
concurrerende instrumenten. De referentielichtbundel valt rechtstreeks
op de sensor, wat grote meetfouten voorkomt. Bovendien meet de nieuwe
opstelling het hele oppervlak van de meeste spiegels in een keer. In
tegenstelling tot andere meetinstrumenten is deze interferometer
geschikt voor gebruik in een optische werkplaats, zowel wat de kosten
als het gebruiksgemak betreft.
Dit onderzoek is gefinancierd door Technologiestichting STW, ASML
(Veldhoven), Carl Zeiss (Duitsland), en TNOTPD.
Luke Krieg maakte een absolute
interferometer, die hier op de foto te zien is.
Meer informatie:
Luke Krieg MSc. (TUD, Optica)
t: +31(0)15 278 24 55, m.l.krieg@tn.tudelft.nl
promotie 30 november, promotor prof. dr. ir. J.J.M. Braat
Meer informatie op de websites:
www.optica.tn.tudelft.nl\stw\index.htm (Interactive site over het
onderzoek)
www.optica.tn.tudelft.nl\stw\thesis_krieg.pdf ( proefschrift)
---
TOP Laatste wijziging: 01-12-2004
Reacties naar: webmaster@stw.nl
Technologie Stichting STW