Chipfabrikage sneller en nauwkeuriger door 'vliegend tapijt'

Doel project: Het verbeteren van een testopstelling voor de zogenaamde single staged planar actuator, zodat deze geschikt wordt voor industriële toepassing. Een single stage planar actuator is een volledig zwevend, contactloos, in een plat vlak bewegend, magneetgelagerd bewegingssysteem.