Stichting FOM
30 mei 2011, 2011/19
FOM kent valorisatieproject toe aan ultrasoon schoonmaken
De Stichting FOM heeft een valorisatiesubsidie toegekend aan een
consortium van de UvA onder leiding van FOM-werkgroepleider prof.dr.
Mark Golden. Zijn team gaat samen met de FOM-werkgroep van dr. Rudolf
Sprik en met dr. Luigi Scaccabarozzi van ASML onderzoeken of ultrasoon
geluid gebruikt kan worden om maskers van de nieuwste extreem
ultraviolet licht (EUV) lithografische machines te reinigen. De jury is
van mening dat dit projectvoorstel heldere toepassingsdoelstellingen en
grote industriële relevantie heeft. Het totale project heeft een omvang
van 123.000 euro, waarvan FOM 53.000 euro bijdraagt, het Van der
Waals-Zeeman Instituut van de Universiteit van Amsterdam 25.000 euro en
ASML 45.000 euro.
vergroten Figuur 1. De beoogde opstelling
De opstelling met oppervlaktegevoelige STM/AFM-probes die de
onderzoekers gaan gebruiken in het nieuwe FOM-valorisatieproject.
EUV=extreem lastig?
ASML is wereldleider in de ontwikkeling van EUV-lithografie machines
voor klanten die halfgeleiderchips fabriceren. In gewone
UV-lithografie, is niet alleen het masker beschermd in een dun hoesje,
maar zijn ook de kleinste maskerstructuren nog relatief groot. Deze
combinatie maakt het proces relatief ongevoelig voor kleine stof- en
vuildeeltjes, of andere verontreinigingen van het maskeroppervlak. In
de nieuwste generatie chipmachines zet ASML EUV-straling in met kortere
golflengtes, om nog kleinere details op de chips te kunnen belichten.
Met deze EUV-techniek moeten de maskers bloot blijven. Daar komt bij
dat de kwaliteit van de optische afbeeldingen nu ook gevoelig is voor
heel kleine stof- en vuildeeltjes. Extreem UV gebruiken is dus extreem
lastig.
De UvA-werkgroepen zullen in dit valorisatieproject onderzoeken of -
net als bij de juwelier - ultrasoon geluid gebruikt kan worden om de
maskers een poetsbeurt te geven: dat verkort de down-time van de
machine en reduceert de servicekosten. Dr. Freek Massee, recent
gepromoveerd op het gebied van microscopie van quantummaterie, zal
oppervlaktegevoelige probes inzetten. Massee wil nagaan of dit idee ook
werkt in de praktijk, op substraten die ASML ter beschikking stelt.
"Er breekt nu een spannend half jaar aan: op 15 november zal het
consortium al een duidelijk ja/nee antwoord kunnen geven. Een ja zal
natuurlijk geweldig zijn, maar ook een duidelijk nee is van nut voor
ASML: een optie op de to try lijst kan worden doorgestreept. ASML had
al haar investering toegezegd, maar het valorisatieprogramma van FOM
bood ons meer financiële speelruimte om versneld dit voor ons out of
the box onderzoeksidee uit te kunnen zoeken," licht Mark Golden toe.
Valorisatie@FOM
Dit is het vierde FOM-valorisatieproject waarmee FOM kennisbenutting
van natuurkundeonderzoek op universiteiten wil stimuleren. FOM steunt
hiermee valorisatie van haar onderzoek bij instituten en
universiteiten. De drie valorisatieprojecten voor universitaire
werkgroepen die al gestart zijn, staan onder leiding van de
FOM-werkgroepleiders dr. Rudolf Sprik, prof.dr. Martin van Hecke en dr.
Davide Iannuzzi.
Meer informatie
Contact: prof.dr. Mark Golden, (020) 525 63 63.